最大ワークサイズ 3000mm×1800mm×t80mm
研削性能として板厚のバラツキ0.3mm以下
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最大ワークサイズ 2500mm×2500mm×t30mm
ワークを光沢面に仕上げる
有効寸法 W2900mm×L2300mm×H2400mm
最高温度 200℃
有効寸法 W3100mm×L2200mm×H2400mm
最高温度 200℃
DCマグネトロン方式
真空チャンバー内寸 Φ1.5m×2m
真空度10-5toor台
最大荷重:50kN
クロスヘツド速度:0.05~1000mm/min
有効寸法Φ1950mm×L3200mm、最高温度400℃、
最大圧力1.96MPa